烏海高純特種氣體特氣輸送系統簡介

由于特氣的性質及用量不同，特氣系統的輸送方式有多種，但絕大部分特氣輸送系統都由以下5個部分組成。

1.供氣設備（BSGS、GC、GR）

①BSGS（大宗特氣輸送系統）

此系統與大宗特氣氣源連接，通過全自動控制為工藝設備精高效的輸送和供應特種氣體。全自動大宗特氣輸送柜主要有3部分：內部的氣盤、輸送柜柜殼及柜體上方的可編程控制器。氣盤是輸送柜內部的主體結構，主要由面板、氣動閥、調壓閥、壓力傳感器及真空發生器等構成。其外殼主要由冷軋鋼板及安全玻璃構成，具有防爆防漏的功能。柜體上部為可編程控制箱。

其設備原理：將兩瓶工藝上需使用的特種氣體的Y-鋼瓶（以下簡稱A、B氣瓶）放置于氣體房中，氣瓶與輸送柜連接，通過控制箱控制氣動閥門的開啟及關閉來達到送氣的目的。另外將一瓶高純氮氣鋼瓶（以下簡稱C氣瓶）置放于輸送柜中，用于吹掃盤面。將A氣瓶的閥門打開后，點擊控制箱的觸摸屏通知控制箱氣瓶已開，控制箱的電磁閥即會接收到信號輸送壓縮空氣等氣動氣源來開啟氣盤的氣動閥，氣動閥一經開啟，氣瓶中的特氣即會經過調壓閥、過濾器等處理后被送至后段設備。

當A氣瓶中的氣量達到最小設定量時，磅秤或壓力傳感器會測量并發送信號，通知控制箱關閉電磁閥，烏海高純特種氣體公司電磁閥停止輸送氣動氣源，則氣動閥關閉，A氣瓶中的氣體輸送停止。同時控制箱發送信號開啟控制B氣瓶的氣體被輸送至后段。如此實現氣柜自動切換A/B氣瓶并自動供氣的核心功能。操作人員可在撤換A或B氣瓶的時候開啟C氣瓶中的吹掃氮氣對設備管路進行吹掃，保證管路的純凈度。

②GC（氣柜）

GC的工作原理與BSGS相同，但GC的密封性更好，且鋼瓶是放在氣柜內的。GC有更強的防爆功能。但GC的氣體流量沒有BSGS大，其使用的閥門管道等配件尺寸都小于BSGS。

③GR（特氣架） 

GR主要用于惰性氣體的輸送，烏海高純特種氣體GR內主要部件和GC大體一致，減少了柜體和一些電子傳感器件，同時沒有自動吹掃功能，鋼瓶交換過程主要由人手動操作完成。