空氣的分子量為28.8,以空氣分子量為分界點,烏海高純特種氣體工業中常見的比空氣輕的氣體有:H2、He、NH3、CH4等等;比空氣重的氣體有:AsH3、PH3、SIH4、CF4等等。這兩類氣體的運行管理方式是不同的,比如氣柜內比空氣輕的氣體的抽風位置和氣體采樣點在鋼瓶上方,而比空氣重的氣體的抽風位置和氣體采樣點在鋼瓶下方。需注意的是運行管理中的氣體一般都在非標準狀況下,因此與空氣分子量接近的氣體隨著溫度的不同會有例外,如常溫或高溫N2會比空氣輕。而冷的N2會比空氣重。計算混合氣的分子量,首先確定混合氣的氣體組成及各組成氣體的分子量。比如計算1%PH3/He的分子量,PH3分子量為34,He分子量為4,計算公式如下:34×0.01+4×0.99=4.33.按特氣的化學性質分類依據其化學性質,特氣可分為惰性氣體、可燃性氣體、自然性氣體、氧化性氣體及腐蝕性氣體幾種。工業上常用的惰性氣體有CF4、C4F8、SF6、Ar、CO2、He、Xe、Ne等;可燃性氣體有AsH3、B2H6、NH3、TEOS、TMB;自燃性氣體有SiH4、PH3等;氧化性氣體有NO、NF3等;腐蝕性氣體有HC1、HBr、BCI3、BF3、SiCI4、POCI3、PF3、PF5等。值得注意的是,很多特氣都要同時兼具以上兩種性質,如SiH2CI2、SiHCI3同時具有可燃性和腐蝕性。烏海高純特種氣體再如CI2、F2同時具有腐蝕性和氧化性。一般半導體、光伏等行業在其主體廠房一層都建有專門的特氣房,并根據所用氣體的種類和性質劃分不同的氣體間。如果廠房所用特氣為高毒、易燃易爆且存儲達到一定值時,則需在離廠房安全距離以外的區域建立氣站為產線供氣。
氣站內根據特氣的分類劃分不同氣體間,如惰性氣體間、可燃性氣體間、自燃性氣體間、腐蝕性氣體間。各氣體間選擇不同的特氣供應設備、特氣檢測設備及防護設施。如惰性氣體間需安裝氧氣偵測器,實時監控房間內氧氣濃度,若低于安全限制能及時報警。由于可燃及自燃性氣體一旦發生泄漏,則存在爆炸的風險,因此可燃及自燃性氣體間在設計上需考慮防爆、消防滅火設施等因素,同時其供應設備內也應配制火焰探測器或者溫度探頭。特氣根據其性質進行分區管理,烏海高純特種氣體公司不但便于特氣運行人員日常操作,發生異常情況能及時處理,而且一旦發生事故則可降低事故風險,減小疊加傷害。
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