內蒙古特種氣體由管道輸送，能否將高純氣體送至用氣點仍保持質量合格的關鍵是供氣系統設計合理、管件及附件選擇正確、施工安裝正確和試驗檢測合格。高純氣體管道輸送管道，要根據工藝過程對氣體純度、允許的雜質含量、微粒含量等的要求不同，采用相應質量的管材。比如半導體產業因其生產工藝復雜、加工精細，它不僅要求有潔凈的生產環境，而且對生產過程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴格的要求，從微米技術進入亞微米、深亞微米(小于O．35g．m)技術，對氣體中的雜質含量、水含量要求極為嚴格，10 (ppm級)已經不能達到要求，需要達到10 (ppb級)，甚至10~2(ppt級)，塵埃粒徑要求控制到0．05-0.Olla,m。因此輸送管道本身的管道材料特性適應高純、超高純氣體的要求成為必須。 

1.1管道材料特性 

對輸送高純氣體管道而言，其影響氣體質量的管道材料主要特性是氣體滲透性、出氣速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蝕性。

1.1.1氣體滲透性 

氣體從壓力(或分壓力)高的一側透過材料向壓力(或分壓力)低的一側流入的現象成為氣體滲透。因為空氣中氧氣和氮氣分壓力大、氣體分子相對較小，管道材料對氣體的滲透性主要表現氧氣和氮氣的滲透，一般對氧氣的滲透測試比較多。不同材料對氧的滲透性材料大氣中氧氣的滲透(ppm)不銹鋼管 0 銅管 0 聚丙烯管 1 聚四氟乙烯管 12 普通鋼管 203 

從表看到，對于輸送ppm級及更高純度要求的氣體，從氣體滲透角度必須選用不銹鋼管或者鋼管，如果我們不恰當地選用了不符合要求的管道材料，那么，無論我們采取什么凈化手段，都將是無濟于事的。 

1.1.2出氣速率 

材料冶煉過程形成的管道材料晶間或者晶格內部存在著某些雜質，如氮、碳氫化合物等，在高純氣體輸送過程中，這些雜質會緩慢地釋放出來，污染高純氣體，尤其是雜質要求在ppb以上級的高純氣體。通常低碳不銹鋼管的出氣速率極低。

 1.1.3吸附性 

由于水分等雜質是極性分子，吸附性很強。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料極易吸附水分等雜質，銅材對水吸附性極強，使用這些材料輸送高純氣體易被污染，除了輸送ppm級以下的氧氣會使用紫銅管外，高純氣體都不采用銅管和塑料管，氣體會接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。 

1.1.4表面粗糙度和耐磨性 

為了確保輸送的氣體純凈度，要求管道材料內表面有一個極高的光潔度，內蒙古特種氣體廠家這樣可以防止污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速沖刷下，產生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性優于鋼管。 

1.1.5抗腐蝕性 

微電子生產中，經常使用一些腐蝕性很強的氣體，這時必須采用耐腐蝕的管材，否則管道會被腐蝕，輕則表面產生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會發生安全事故。

1.1.6內表面處理 

為了進一步改善管道材料特性，對管道內表面進行處理，一般有三種方法：酸洗鈍化(AP)，光亮退火(BA)和電解拋光(EP)處理。試驗資料和實踐都證明，通過表面處理后。管道材料的粗糙度減小。出氣速率降低。表面吸附性減弱。

 1.2管道材料及連接 

純度在99.99％以內的氣體管道，采用10#或20#無縫鋼管(內表面鍍鋅或純化處理)、銅管。鍍鋅管道采用螺紋連接?？傠s質含量≤10—100ppm的氣體管道，采用304不銹鋼光亮退火管(304BA)、304不銹鋼管純化處理(304AP)、紫銅管。管道采用焊接連接，可以采用對接焊、承插焊或套管焊接?？傠s質含量≤1-10ppm的氣體管道，采用316L不銹鋼光亮退火管(316LBA)、304不銹鋼電拋光管(304EP)。管道連接采用焊接， 內壁無瘢痕的對接焊，高純氬氣保護焊?？傠s質含量≤1ppm的高純氣體管道，必須采用316L不銹鋼電拋光管(3l6LEP)。管道連接采用焊接，內壁無瘢痕的對接焊，高純氬氣保護焊，在專用的潔凈室內進行。

 1.3管道閥門及連接 

內蒙古特種氣體哪家好管道普遍采用球閥、隔膜閥和波紋管閥，根據氣體純度、有毒性和可燃爆炸性要求選擇相適應的閥門。純度在99.999％以內的氣體管道，采用304不銹鋼球閥，可以采用法蘭連接，法蘭墊片為軟金屬墊片、聚四氟乙烯墊片?？傠s質含量≤10ppm的氣體管道，采用隔膜閥和波紋管閥。可燃爆炸性的氣體必須采用波紋管閥。閥門采用卡套連接，軟金屬整片。由于隔膜閥具有波紋管閥相同的密封性能外，還具有閥內死空間小、容易吹除干凈、污染小等突出特點，總雜質含量≤1ppm純度要求極為嚴格的管道以及危險性極大的氣體管道，推薦使用隔膜閥。閥門采用VCR卡套連接，軟金屬墊片。