電子特氣：電子工業的血液：內蒙古特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業生產不 可或缺的原材料。

通常半導體生產行業，將氣體劃分成常用氣體和特殊氣體兩類。其中，常用氣體指集中供給而且使用非常 多的氣體，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特種氣體指半導體生產環節中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，比如高純度的 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、 N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等，在 IC 生產環節中，使用的電子氣體有差不多有 100 多種， 核心工段常見的在 30 種左右。正是這些氣體通過不同的制程使硅片具有半導體性能，它又決定了集成電路的性 能、集成度、成品率，即使是某一種某一個特定雜質超標，都將導致質量嚴重缺陷，嚴重時會因不合格氣體的 擴散，導致整個生產線被污染，乃至全面癱瘓。因此，電子氣體是制造過程基礎關鍵材料，是名副其實的電子 工業“血液”。

當前我國電子氣體市場大部分由幾大國際巨頭所占據，內蒙古特種氣體廠家高端氣體更是幾乎完全依賴進口，一方面價格昂貴， 進口氣價格一般會達到國產氣的 2-3 倍甚至更高，增加 IC 產業制造成本，削弱了我國 IC 產業的競爭力；另一方 面某些核心氣體海外巨頭對我國實施各種封鎖限制，供應情況受國際關系影響，對我國國家安全及經濟發 展構成威脅。此外，很多電子氣體本身屬于危險化學品，進口手續繁瑣、周期長，且某些電子氣體性質不穩定 自發分解，或強腐蝕長時間放置雜質含量提高，漂洋過海進口本身就存在諸多不便。綜合來看，我國發展電子 特氣的自主生產，能夠完善集成電路產業鏈，具有重大的現實意義和深遠的戰略意義。

國際上電子氣體普遍釆用的標準為 SEMI 標準（國際半導體裝備和材料委員會標準），但國外幾大氣體公司 均有自己的公司標準，這些標準突出了各公司的技術水平特征，在產品純度上較 SEMI 普遍高出 1-2 個數量級， 在分析檢測、包裝物、使用方法、應用技術說明等方面各有特點，一些公司在某些關鍵雜質（金屬雜質、顆粒 物雜質等）含量上只標明“需與用戶協商”，表明電子氣體技術、市場競爭非常激烈，關鍵技術保密。

根據成分與用途的不同，可以將電子特氣大致分為七種：摻雜用氣體、外延晶體生長氣、離子注入氣、刻 蝕用氣體、氣相沉積（CVD）氣體、平衡/反應氣體、摻雜配方氣體。其中，某些內蒙古特種氣體多少錢在多個環節都有所應 用（比如硅烷）。各種電子特氣的細分品類如下表所示。

據統計，電子特氣占晶圓制造過程中材料成本的 14%左右，與掩膜版的成本占比相當，為僅次于硅片的第 二大材料。據中國電子報報道，2018 年國內晶圓制造材料總體市場規模約 28.2 億美元；封裝材料包括引線框架、 基板、陶瓷封裝材料、鍵合絲、封裝樹脂、芯片貼裝材料等，2018 年國內封裝材料市場規模約為 56.8 億美元。 2018 年，晶圓制造材料與封裝測試材料總計市場規模約為 85 億美元。電子特氣方面，2018 年我國半導體用電 子特氣市場規模約 4.89 億美元。經過 30 多年的發展，我國半導體用電子特氣已經取得了不錯的成績。