烏海高純特種氣體穿管及配件材料的挑選

采用透水性小、排氣速度低、吸附力差的原材料?，F階段集成電路工藝集成電路芯片前工藝流程高純氣體運輸系統軟件管路原材料選用不銹鋼板明亮淬火管（SS304BA、SS316BA）、不銹鋼板電拋光管（SS316L-EP）等，可是對規定操縱高純氣體中總殘渣成分≤1.01.0×10－6及下列的管件運用SS316L-EP管。，高純氣體應用管件的特性及規定以下表所顯示：

制作過程

冷延→熱處理工藝→冷拔→明亮熱處理工藝→脫油→一般水清洗→純凈水水清洗（10000級清潔自然環境）→純氮吹掃（1000級清潔自然環境）→查驗→包裝（壓帽氮封及兩層高壓聚乙烯外包裝盒充純氮維護）

冷延→熱處理工藝→冷拔→明亮熱處理工藝→脫油→一般水清洗→化學拋光→一般水清洗→堿中合→一般水清洗→氰化鈉預浸→水清洗→冷純凈水水清洗（10000級清潔自然環境）→熱純凈水水清洗（10000級清潔自然環境）→純氮吹掃（100/1000級清潔自然環境）→查驗→包裝（壓帽氮封及兩層高壓聚乙烯外包裝盒充純氮維護）→最后查驗

烏海高純特種氣體價格內粗糙度Rmax3.0～4.5μm<0.7μm

表層強度（HRB）<90<80

尺寸公差規定新項目

管直徑、壁厚厚、長度、管路平整度

管直徑、壁厚厚、長度、管路平整度

注：①管道形式以汽體特點設計方案，稀有氣體應用一般的單面管，做為工藝用的反映汽體，則采用高級其他SS316L-EP管；應用與集成ic觸碰但不參加工藝反映的汽體則采用SS316L-BA管。

②針對起火發生爆炸，有有毒的高純氣體，如SiH4、PH3、AsH3等則考慮到應用雙防水套管，它的內/外管材料一般為SS316L-EP/SS316L-AP，此設計方案的關鍵目地有二點，最先可維護連接管立即遭受外力作用碰撞，次之能將由連接管漏水的汽體阻絕于外管，并運用有關的檢測儀器檢驗，現階段常見的設計方案有正壓力和負壓力二種方法，負壓力設計方案是將內外管間抽成真空，正壓力設計方案則是灌以N2保持正壓力，二者皆可接好氣壓表或是工作壓力報警器檢知泄露情況。

一般選用的方式有機械設備噴砂處理、烏海高純特種氣體廠家化學溶液清理、電拋光、電拋光等，現階段廣泛運用的管件有明亮淬火管和電拋光管