內蒙古特種氣體廠家高純氣體管道中全部高純、高清潔的汽體均需根據管道傳至儀器設備用些(POU)，為了更好地做到儀器設備對汽體的品質規定，在汽體出入口指標值一定的狀況下，則更需高度重視穿管系統軟件的原材料采用和施工質量。除在于制氣或油煙凈化器的精密度外，在非常大水平上遭受管道系統軟件眾多要素的危害，因而，管件的選擇應遵守有關領域標準，并標明管路材料。

高純汽體的管路運輸，將高純氣體送往用氣點，并維持品質達標的關鍵是氣路控制系統設計有效、管材及配件挑選恰當、工程施工安裝恰當和材料檢測達標。高純氣體管路運輸管路，要依據加工工藝全過程對汽體純凈度、容許的殘渣成分、粒子成分等的規定不一樣，選用相對品質的管件。例如半導體產業因其生產工藝流程繁雜、生產加工細致，它不但規定有清潔的工作環境，并且對加工過程中常需的各種各樣高純氣體有特殊的、嚴苛的規定，從μm技術性進到亞微米、深亞微米(低于O．35g．m)技術性，對汽體中的殘渣成分、水成分規定極其嚴苛，10(ppm級)早已不可以做到規定，必須做到10(ppb級)，乃至10一~2(ppt級)，浮塵粒度規定操縱到0．05-0。Olla,m。因而運輸管路自身的管路原材料特點融入高純度、超高純氣體的規定變成務必。

1.管路原材料特點

對運輸高純氣體管路來講，其危害汽體品質的管路原材料關鍵特點是汽體透水性、排氣速度、吸附力、粗糙度和耐磨性能、抗腐蝕。

2.汽體透水性

汽體從工作壓力(或分工作壓力)高的一側通過原材料向工作壓力(或分工作壓力)低的一側注入的狀況變成汽體滲入。由于空氣中氧氣和N2分工作壓力較大 、汽體分子結構相對性較小，管路原材料對汽體的透水性具體表現co2和N2的滲入，一般對co2的網站滲透測試比較多。不一樣原材料對氧的透水性原材料空氣中co2的滲入(ppm)不銹鋼鋼管O空調銅管O聚丙烯管1l聚四氟乙烯管12一般無縫鋼管203從表見到，針對運輸ppm級及更高純規定的汽體，從汽體滲入視角務必采用不銹鋼鋼管或是無縫鋼管，如果我們不恰當地采用了不符合規定的管路原材料，那麼，不管大家采用哪些清潔方式，都將是于事無補的。

3.排氣速度

內蒙古特種氣體價格原材料冶煉廠全過程產生的管路原材料晶間或是晶格常數內部存有著一些殘渣，如氮、氮氧化合物等，在高純氣體運輸全過程中，這種殘渣會遲緩地釋放出，環境污染高純氣體，尤其是殘渣規定在ppb以上級領導的高純氣體。一般低碳環保不銹鋼鋼管的排氣速度極低。

4.吸附力

因為水份等殘渣是極性分子，吸附力很強。硫化橡膠、塑膠或一些表層不光滑的原材料非常容易吸咐水份等殘渣，銅料對水吸附力極強，應用這種原材料運輸高純氣體易被環境污染，除開運輸ppm級下列的co2會應用銅管外，高純氣體也不選用空調銅管和塑料軟管，汽體會觸碰到的墊圈、填充料也不可選用硫化橡膠、塑膠材料(包含聚四氟乙烯)。

5.粗糙度和耐磨性能

為了更好地保證 運輸的汽體純度，規定管路原材料內表層有一個非常高的光滑度，那樣能夠避免 環境污染顆粒及體內濕氣在壁厚停留，能夠在吹掃時較為非常容易吹凈。管件較為光滑并且耐磨損，能夠在氣旋髙速沖洗下，造成的金屬粒子就少，不銹鋼板比空調銅管造成顆粒要少，因此 不銹鋼鋼管耐磨性能好于無縫鋼管。

6.抗腐蝕

微電子技術生產制造中，常常應用一些腐蝕較強的汽體，這時候務必選用抗腐蝕的管件，不然管路會被浸蝕，輕則表層造成銹跡，重則管路大規模脫落、破孔，不僅環境污染汽體，還會繼續產生安全生產事故。

7.內金屬表面處理

為了更好地進一步改進管路原材料特點，對管路內表層開展解決，一般有三種方式：磷化處理(AP)，明亮淬火(BA)和化學拋光(EP)解決。實驗材料和實踐活動都證實，根據金屬表面處理后。管路原材料的表面粗糙度減少。排氣速度減少。表層吸附力變弱。

8.管路原材料及聯接

純凈度在99．99％之內的氣體管道，選用10#或20#無縫管(內表層熱鍍鋅或提純解決)、空調銅管。鍍鋅鋼管道選用螺栓連接?？倸堅煞帧?0—100ppm的氣體管道，選用304不銹鋼板明亮淬火管(304BA)、304不銹鋼鋼管提純解決(304AP)、銅管。管路選用電焊焊接聯接，能夠選用對焊、承插焊或防水套管電焊焊接?？倸堅煞帧?-1oppm的氣體管道，選用316L不銹鋼板明亮淬火管(316LBA)、316L不銹鋼板電拋光管(304EP)。管路聯接選用電焊焊接，內腔無疤痕的對焊，高純氬氣維護焊。總殘渣成分≤lppm的高純氣體管路，務必選用316L不銹鋼板電拋光管(3l6LEP)。管路聯接選用電焊焊接，內腔無疤痕的對焊，高純氬氣維護焊，在專用型的清潔房間內開展。

9.閥門及聯接

氣體管道廣泛選用閘閥、隔膜閥和波紋管閥，依據汽體純凈度、有毒副作用和可燃性可燃性規定挑選相一致的閘閥。純凈度在99．9999％之內的氣體管道，選用304不銹鋼球閥，能夠選用活套法蘭，法蘭盤墊圈為軟金屬墊片、聚四氟乙烯墊圈．總殘渣成分≤10ppm的氣體管道，選用隔膜閥和波紋管閥?？扇夹钥扇夹缘钠w務必選用波紋管閥。閘閥選用卡套式接頭聯接，軟金屬材料一整片。因為隔膜閥具備波紋管閥同樣的密封性特性外，還具備閥內死室內空間小、非常容易吹除整潔、環境污染小等突顯特性，總殘渣成分≤lppm純凈度規定極其嚴苛的管路及其危險因素巨大的氣體管道，內蒙古特種氣體強烈推薦應用隔膜閥。閘閥選用VCR卡套式接頭聯接，軟金屬墊片。